3.5ウルトラマイクロモーター
ウルトラマイクロモーター技術は、過去20年間に開発されたマイクロエレクトロメカニカルシステム技術（MEMS）の新しいハイテク分野です。 それは、ミリメートルからマイクロメートルまでの範囲の寸法を製造するために使用される半導体材料シリコンに基づくマイクロマシニング技術によって特徴付けられる。 エネルギー変換と伝達機能を持つ装置。 MEMS技術の出現は、伝統的な機械製造技術において革命的な飛躍を遂げました。 ウルトラマイクロモーターには、静電原理ウルトラマイクロモーターと電磁型ウルトラマイクロモーターがある。 電磁式ウルトラマイクロモータは、静電型ウルトラマイクロモータよりもトルクが大きく、変換効率が高く、長寿命であるため、内視鏡やマイクロロボットなど多くの分野で使用されている。 等々。 現在、米国、日本、ロシア、ドイツなどは、この技術の研究と応用を行うために多くの人的資源、材料資源、および財源を投資し、そして大きな進歩を遂げており、そして一部は実用性を達成している。 例えば、日本の東芝は、重量が40mg、回転速度が60〜1000r / min、電圧が1.7V、直径がわずか0.8mmの世界最小の超マイクロモーターを開発しました。 中国の上海交通大学も直径1mmのマイクロモーターを開発しています。 。 ナノ製造技術の開発と応用に伴い、ウルトラマイクロモーターも大いに発展し、より多くの応用分野があることが期待できます。
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