11リニアモータ
工作機械の従来の「回転モータ+ボールネジ」送り駆動モードは、独自の構造上の制限により、送り速度、加速および迅速な位置決め精度の画期的な改善を達成することは困難です。 超精密加工は、機械送りシステムのサーボ性能に対するより高い要求を課す。 リニアモータは、中間変換機構を必要とせずに、電気エネルギーを直線運動の機械エネルギーに直接変換します。 大きな始動推力、高い伝達剛性、速い動的応答、高い位置決め精度、および無限のストローク長の利点があります。 機械送りシステムでは、リニアモータの直接駆動と元の回転モータ駆動との最大の違いは、モータとテーブル（キャリッジ）との間の機械的駆動がなくなり、機械送りチェーンの長さがゼロに短縮される。 したがって、このタイプの送信は、「ゼロ送信」とも呼ばれます。 正確には、この「ゼロ伝達」モードのために、元の回転モータ駆動方法が達成できない性能指標および利点が得られるからである。
1、高速応答
応答時間が長いメカニカルトランスミッションパーツ（リードスクリューなど）がシステム内で直接除去されるため、閉ループ制御システム全体の動的応答性能が大幅に向上し、反応は非常に敏感で迅速です。
2、精度
リニア駆動方式では、リードスクリュー等の機械的機構による伝達隙間や誤差を解消し、補間動作中の伝達系の遅れに起因するトラッキング誤差を低減しています。 直線位置検出フィードバック制御により、工作機械の位置決め精度を大幅に向上させることができる。
3.始動、シフトおよび逆転中の中間伝達リンクの弾性変形、摩擦および摩耗およびバックラッシュによって引き起こされる運動ヒステリシスを回避し、また伝達剛性を改善する「直接駆動」により、動的剛性が高い。
4、速い、短い加速および減速プロセス
リニアモータは主にマグレブ列車（最大500km / h）に使用されていたため、超高速切削の最大送り速度（60-100M / minに達することが要求される）の送り駆動に使用されています以上）。 もちろん問題ありません。 上記「ゼロ変速」の高速応答性により、加減速処理が大幅に短縮される。 始動の瞬間に高速を達成するために、高速で準停止することができる。 典型的には2~10g（g = 9.8m / s2）までのより高い加速度が利用可能であるが、ボールねじ駆動の最大加速度は典型的にわずか0.1~0.5gである。
ストロークの長さは限定されない。 リニアモータをガイドレールに接続することにより、ストロークの長さを無期限に延長することができます。
6、動きは静かで、低ノイズです。 ドライブスクリューなどの部品の機械的摩擦がなくなり、ガイドレールに転がりガイドや磁気パッド懸架ガイド（機械的接触なし）を採用できるため、移動中の騒音が大幅に低減されます。
7、高い効率。 中間伝達リンクがないので、機械的摩擦の間のエネルギー損失がなくなり、伝達効率が大幅に改善される。
